Лабораторный практикум по технологии и оборудованию полупроводникового производства / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Моск. ин-т электронного машиностроения.... Пленарная технология: окисление, диффузия, фотолитография
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Физические характеристики: |
193 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
Загрузка