Исследование физико-химических механизмов фототравления полиметилметакрилата вакуумным ультрафиолетовым излучением / К. А. Валиеев, Л. В. Беликов, Ю. И. Дорофеев и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
16 с., [12] с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Физика твердого тела
Препринт № 68 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21895970000 | ||
| 005 | 20160128132016.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [85-89025] |
| 100 | # | # | $a 20071005d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование физико-химических механизмов фототравления полиметилметакрилата вакуумным ультрафиолетовым излучением $f К. А. Валиеев, Л. В. Беликов, Ю. И. Дорофеев и др. $g АН СССР. Ин-т общей физики. Лаб. микроэлектроники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 16 с., [12] с. |
| 225 | 2 | # | $a Физика твердого тела $v Препринт № 68 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 3-4 (23 назв.) |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Ультрафиолетовые лучи |
| 610 | 0 | # | $a Полимеры |
| 675 | # | # | $a 541.64:541.14 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071005 $g psbo |