Исследование процесса массопереноса при жидкофазовой эпитаксии в вертикальных системах / Л. А. Дмитриева, О. С. Мажорова, Ю. П. Попов, Э. А. Твирова

Сохранено в:
Шифр документа: 17972,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : ИПМ , 1984
Физические характеристики: 30 с. : граф. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Препринт № 118
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21881000000
005 20140905093616.0
010 # # $d 5 к. 
021 # # $a RU  $b [84-79521] 
100 # # $a 20071005d1984 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование процесса массопереноса при жидкофазовой эпитаксии в вертикальных системах  $f Л. А. Дмитриева, О. С. Мажорова, Ю. П. Попов, Э. А. Твирова 
210 # # $a М.  $c ИПМ  $d 1984 
215 # # $a 30 с.  $c граф.  $d 21 см 
225 2 # $a Препринт  $f Ин-т прикл. математики им. М. В. Келдыша АН СССР  $v № 118 
300 # # $a Библиогр.: с. 15-16 (20 назв.) 
345 # # $9 250 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование - Расчет - Численные методы 
675 # # $a 621.315.592.002 
701 # 1 $a Дмитриева  $b Л. А.  $g Людмила Александровна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo