Использование синхротронного излучения в рентгенолитографии / Ю. М. Александров, А. Д. Кривоспицкий, В. П. Лаврищев и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
4 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 237 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21846950000 | ||
| 005 | 20071005151601.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [78-98965] |
| 100 | # | # | $a 20071005d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Использование синхротронного излучения в рентгенолитографии $f Ю. М. Александров, А. Д. Кривоспицкий, В. П. Лаврищев и др. |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 4 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт $f АН СССР. Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева. Лаб. электронов высоких энергий $v № 237 |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.384.634+776 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071005 $g psbo |