Использование комбинационного рассеяния света для контроля качества приповерхностных полупроводниковых слоев / Е. В. Иванов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. , 1986 |
| Физические характеристики: |
44 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
1040 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||