Использование комбинационного рассеяния света для контроля качества приповерхностных полупроводниковых слоев / Е. В. Иванов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. , 1986 |
| Физические характеристики: |
44 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
1040 |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21836360000 | ||
| 005 | 20161205095328.0 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [86-68427] |
| 100 | # | # | $a 20071005d1986 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Использование комбинационного рассеяния света для контроля качества приповерхностных полупроводниковых слоев $f Е. В. Иванов и др. |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 44 с. $c рис. |
| 225 | 2 | # | $a Препр. $f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе $v 1040 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 42-44 (31 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 675 | # | # | $a 537.311.322:539.211 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071005 $g psbo |