Использование вычислительных машин для изготовления фотошаблонов: [Пер. с англ.]

Сохранено в:
Шифр документа: АНД663397, АЯ146304,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : ин-т «Электроника» , 1969
Физические характеристики: 11 с. : черт. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Переводы иностр. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы» Перевод № 47 (116)/ЭТ-5178
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21832520000
005 20071005151043.0
010 # # $d 9 к. 
021 # # $a RU  $b [70-30454] 
100 # # $a 20071005d1969 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Использование вычислительных машин для изготовления фотошаблонов  $e [Пер. с англ.] 
210 # # $a М.  $c ин-т «Электроника»  $d 1969 
215 # # $a 11 с.  $c черт.  $d 20 см 
225 2 # $a Переводы иностр. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы»  $f М-во электронной пром-сти СССР  $v Перевод № 47 (116)/ЭТ-5178 
300 # # $a Статья из «Bell laboratories record», v. 46, № 7, 1968 
345 # # $9 1230 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство 
610 0 # $a Фотошаблоны для интегральных схем - Расчет на вычислительных машинах 
675 # # $a 621.382-181.48.049.75:774 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo