|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr21832520000 |
005 |
20071005151043.0 |
010 |
# |
# |
$d 9 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [70-30454]
|
100 |
# |
# |
$a 20071005d1969 y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Использование вычислительных машин для изготовления фотошаблонов
$e [Пер. с англ.]
|
210 |
# |
# |
$a М.
$c ин-т «Электроника»
$d 1969
|
215 |
# |
# |
$a 11 с.
$c черт.
$d 20 см
|
225 |
2 |
# |
$a Переводы иностр. литературы. Серия «Полупроводниковые приборы»
$f М-во электронной пром-сти СССР
$v Перевод № 47 (116)/ЭТ-5178
|
300 |
# |
# |
$a Статья из «Bell laboratories record», v. 46, № 7, 1968
|
345 |
# |
# |
$9 1230 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
610 |
0 |
# |
$a Фотошаблоны для интегральных схем - Расчет на вычислительных машинах
|
675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48.049.75:774
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071005
$g psbo
|