|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr21814640000 |
| 005 |
20071005150938.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071005d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a LT
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменные процессы в технологии микроэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Вильнюс
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 142 с.
$c ил.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Темат. сб. науч. тр. высш. учеб. заведений ЛитССР
$f Каунас. политехн. ин-т им. Антанаса Снечкуса
|
| 300 |
# |
# |
$a Тит. л. парал. рус., лит. - Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плазменная обработка
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектроника
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002:621.7/9.048.7
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071005
$g psbo
|
