Ионно-лучевая модификация материалов: Аналит. обзор. [Библиогр. подборка информ.] / Междунар. центр науч. и техн. информ., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. : МЦНТИ , 1987 |
Физические характеристики: |
283, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 29 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|