Ионно-лучевая модификация материалов: Аналит. обзор. [Библиогр. подборка информ.] / Междунар. центр науч. и техн. информ., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Сохранено в:
Шифр документа: 200431К,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МЦНТИ , 1987
Физические характеристики: 283, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 29 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21814580000
005 20150211145631.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [87-49131] 
100 # # $a 20071005d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Ионно-лучевая модификация материалов  $e Аналит. обзор. [Библиогр. подборка информ.]  $f Междунар. центр науч. и техн. информ., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР  $g [Разработчики В. А. Агафонова и др.] 
210 # # $a М.  $c МЦНТИ  $d 1987 
215 # # $a 283, [1] с., [1] л. ил.  $c ил.  $d 29 см 
300 # # $a Указ. авт. и предм.: с. 208-283. - На тит. л. и обл.: Информ. обеспечение комплекс. прогр. науч.-техн. прогресса стран-членов СЭВ до 2000 г. Приоритет. направления: Электронизация нар. хоз-ва. Новые материалы и технологии их пр-ва и обраб. 
345 # # $9 400 экз. 
610 0 # $a Ионное легирование - Обзоры информационные 
675 # # $a 621.7/.9.048.7(048.8) 
702 # 1 $a Агафонова  $b В. А. 
711 0 2 $a Международный центр науч. и техн. информации 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo