|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr21814490000 |
| 005 |
20191211103130.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-12-009334-5
$b в пер.
$d 5 р. 50 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-86871]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071005d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионная имплантация и лучевая технология
$f [Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Дж. Ф. Гиббонс и др.]
$g Под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута; Перевод с англ. А. М. Евстигнеева; Под общ. ред. О. В. Снитко
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c Наук. думка
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 357, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны в огл. - Библиогр.: с. 327-353. - Предм. указ.: с. 354-358. - Перевод изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984)
|
| 345 |
# |
# |
$9 940 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Ионное легирование
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронно-лучевая технология
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.359
|
| 701 |
# |
1 |
$a Вильямс
$b Дж. С.
|
| 702 |
# |
1 |
$a Снитко
$b О. В.
$g Олег Вячеславович
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071005
$g psbo
|
