Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах: Материалы VII-ой междунар. конф. (Вильнюс, 26-28 сент. 1983 г.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Вильнюс , 1985 |
| Физические характеристики: |
360 с. : рис., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21814470000 | ||
| 005 | 20210430101507.0 | ||
| 010 | # | # | $d 80 к. |
| 100 | # | # | $a 20071005d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Ионная имплантация в полупроводниках и других материалах $e Материалы VII-ой междунар. конф. (Вильнюс, 26-28 сент. 1983 г.) |
| 210 | # | # | $a Вильнюс $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 360 с. $c рис., табл. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Вильнюс. гос. ун-т им. В. Капсукаса. - Библиогр. в конце ст. |
| 345 | # | # | $9 500 экз. |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar24594 $a ПОЛУПРОВОДНИКИ $2 DVNLB |
| 610 | 0 | # | $a Ионы |
| 675 | # | # | $a 621.315.592.002(063) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071005 $g psbo |