Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов : (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия). Отеч. и иностр. литература...... за II полугодие 1970 г.-I полугодие 1972 г. / Сост. Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1972 |
| Физические характеристики: |
190 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка