Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов : (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия). Отеч. и иностр. литература...... за II полугодие 1970 г.-I полугодие 1972 г. / Сост. Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В.

Сохранено в:
Шифр документа: АН759150,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1972
Физические характеристики: 190 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000nam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21526810002
005 20071010145004.0
010 # # $d 1 р. 20 к. 
021 # # $a RU  $b [73-6375] 
100 # # $a 20071010d1972 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
200 1 # $a ... за II полугодие 1970 г.-I полугодие 1972 г.  $f Сост. Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В. 
210 # # $d 1972 
215 # # $a 190 с. 
300 # # $a На обл. загл. сер.: Темат. указатели лит. 
345 # # $9 1230 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr21526810000 
610 0 # $a Пленки тонкие - Указатели литературы 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Указатели литературы 
675 # # $a 016:621.382.002.3 
702 # 1 $a Ижмякова  $b Л. Ф. 
711 0 2 $a СССР. М-во электронной пром-сти 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071010  $g psbo 
830 # # $a АН759150;