|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr21424800000 |
| 005 |
20210225132200.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-229-00341-3
$d 2 р. 70 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-63207]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071009d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Жидкофазная эпитаксия кремния
$f [Л. В. Кожитов, В. В. Липатов, А. С. Тимошин, М. П. Волков]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Металлургия
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 200, [1] с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 195-201 (194 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 635 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые пленки - Получение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний - Кристаллы - Рост
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002:621.793.162
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кожитов
$b Л. В.
$g Лев Васильевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071009
$g psbo
|
