|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr21298170000 |
| 005 |
20140707134312.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-71725]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071009d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диффузионное травление полимерных пленок под действием элетромагнитных и корпускулярных излучений
$f К. А. Валиев, Л. В. Великов, Т. М. Махвиладзе, А. М. Прохоров
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 47 с.
$c табл.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Физика твердого тела
$v Препринт № 126
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН СССР, Ин-т общ. физики, Лаб. микроэлектроники. Библиогр.: с. 46-47 (26 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки полимерные
|
| 675 |
# |
# |
$a 678-416
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071009
$g psbo
|
