Диагностика приповерхностного слоя и управление его свойствами: (актуальные вопросы физической электроники): сборник научных трудов / [редколлегия: Ю. С. Васильев (ответственный редактор) и др.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Ленинград : ЛПИ , 1983 |
Физические характеристики: |
98 с. : ил. ; 25 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Труды ЛПИ
№ 397 |
Предмет: |
Загрузка