Дефектная структура и электрические свойства пластически деформированных кристаллов кремния, легированных золотом / В. В. Аристов, И. Е. Бондаренко, И. Хейденрайх и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1987 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr21244050000 | ||
| 005 | 20180515132529.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-83193] |
| 100 | # | # | $a 20071009d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Дефектная структура и электрические свойства пластически деформированных кристаллов кремния, легированных золотом $f В. В. Аристов, И. Е. Бондаренко, И. Хейденрайх и др. $g АН СССР, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| 205 | # | # | $a Препр. |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 18 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-18 (20 назв.) |
| 345 | # | # | $9 75 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Кремний - Дислокации |
| 675 | # | # | $a 546.28:548.4 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071009 $g psbo |