Алгоритмы и программы для исследования неоднородных структур методом эллипсометрии / Воробьева Л. П., Дагман Э. Е., Любинская Р. И. и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Новосибирск , 1980 |
| Физические характеристики: |
48 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
51-80 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr20104640000 | ||
| 005 | 20070924130658.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [80-46212] |
| 100 | # | # | $a 20070924d1980 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Алгоритмы и программы для исследования неоднородных структур методом эллипсометрии $f Воробьева Л. П., Дагман Э. Е., Любинская Р. И. и др. |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1980 |
| 215 | # | # | $a 48 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт $f АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников $v 51-80 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 48 (8 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 675 | # | # | $a 519.683 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070924 $g psbo |