Исследование метода и разработка оборудования для термоионного осаждения тонких пленок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Яхин, Р. М. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19909180000 | ||
| 005 | 20070521140826.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070521d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование метода и разработка оборудования для термоионного осаждения тонких пленок $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.07) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 30 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 28-30 (17 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Яхин $b Р. М. $g Рафик Медхатович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070521 $g psbo |