Самоформирование в полупроводниковой технологии / [АН ЛитССР, Ин-т физики полупроводников]

Сохранено в:
Шифр документа: 104348, 140428,
Вид документа: Книги
Автор: Янушонис, С. С.
Опубликовано: Вильнюс : Мокслас , 1985
Физические характеристики: 191, [1] с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr19842210000
005 20160525110143.0
010 # # $b В пер.  $d 2 р. 
021 # # $a RU  $b [86-16774] 
100 # # $a 20070518d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a LT 
200 1 # $a Самоформирование в полупроводниковой технологии  $d Self-formation in semiconductor technology  $f [АН ЛитССР, Ин-т физики полупроводников] 
210 # # $a Вильнюс  $c Мокслас  $d 1985 
215 # # $a 191, [1] с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Загл. также: литов. - Рез.: литов., англ. - Библиогр.: с. 184-189 (145 назв.) 
345 # # $9 1000 экз. 
510 1 # $a Self-formation in semiconductor technology 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
675 # # $a 621.382.049.77.002 
700 # 1 $a Янушонис  $b С. С.  $g Стяпас Стяпонович 
701 # 1 $a Янушонене  $b В. Ю.  $g Вида-Катрина Юлевна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070518  $g psbo