Физико-химические основы микроэлектроники, конструирования и технологии РЭА: Лаб. практикум / Казан. авиац. ин-т им. А. Н. Туполева, Каф. конструирования и пр-ва микроэлектрон. аппаратуры

Сохранено в:
Шифр документа: 226746,
Вид документа: Книги
Автор: Якутенков, А. А.
Опубликовано: Казань , 1987
Физические характеристики: 62 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr19796680000
005 20180817133119.0
010 # # $d 15 к. 
021 # # $a RU  $b [88-9777] 
100 # # $a 20070522d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физико-химические основы микроэлектроники, конструирования и технологии РЭА  $e Лаб. практикум  $f Казан. авиац. ин-т им. А. Н. Туполева, Каф. конструирования и пр-ва микроэлектрон. аппаратуры 
210 # # $a Казань  $d 1987 
215 # # $a 62 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 62 (8 назв.) 
345 # # $9 300 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Физика 
675 # # $a 621.37/39(076.5) 
700 # 1 $a Якутенков  $b А. А.  $g Александр Аркадьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070522  $g psbo