Разработка и исследование устройств электронной литографии на основе микроструктурированного кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Якунин, В. С. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19793920000 | ||
| 005 | 20070522141257.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070522d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование устройств электронной литографии на основе микроструктурированного кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f АН СССР, Физ.-технол. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 11-14 (18 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Якунин $b В. С. $g Вадим Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070522 $g psbo |