Некоторые специфические особенности тонких пленок моноокиси кремния: (05.298): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Юкнявичюс, А. П. |
Опубликовано: | Воронеж , 1975 |
Физические характеристики: |
18 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|