Некоторые специфические особенности тонких пленок моноокиси кремния: (05.298): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Юкнявичюс, А. П. |
Опубликовано: | Воронеж , 1975 |
Физические характеристики: |
18 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr19637570000 | ||
005 | 20070518190908.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [75-20423а] |
100 | # | # | $a 20070518d1975 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Некоторые специфические особенности тонких пленок моноокиси кремния $e (05.298) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Воронеж. политехн. ин-т |
210 | # | # | $a Воронеж $d 1975 |
215 | # | # | $a 18 с. |
300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 17-18 (5 назв.) |
686 | # | # | $a 05.298 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Юкнявичюс $b А. П. $g Антанас Пранович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070518 $g psbo |