Некоторые специфические особенности тонких пленок моноокиси кремния: (05.298): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Воронеж. политехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ280622,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Юкнявичюс, А. П.
Опубликовано: Воронеж , 1975
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr19637570000
005 20070518190908.0
021 # # $a RU  $b [75-20423а] 
100 # # $a 20070518d1975 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Некоторые специфические особенности тонких пленок моноокиси кремния  $e (05.298)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук  $f Воронеж. политехн. ин-т 
210 # # $a Воронеж  $d 1975 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Список работ авт.: с. 17-18 (5 назв.) 
686 # # $a 05.298  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Юкнявичюс  $b А. П.  $g Антанас Пранович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070518  $g psbo