Диффузия и растворимость примесей замещения в кремнии в условиях секундного нагрева излучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 89665/89СК, БА228973,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Юдин, С. Г.
Опубликовано: Мн. , 1989
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr19624970000
005 20180312162202.0
100 # # $a 20070517d1989 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
200 1 # $a Диффузия и растворимость примесей замещения в кремнии в условиях секундного нагрева излучением  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.07)  $f АН БССР, Ин-т физики твердого тела и полупроводников 
210 # # $a Мн.  $d 1989 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с 14-16 (19 назв.). Для служеб. пользования 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Юдин  $b С. Г.  $g Сергей Геннадьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070517  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-rr19624970000&fileID=1215468