Исследование и разработка способов изготовления тонкопленочных резистивных элементов повышенной стабильности и точности в серийном производстве микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Щуплинская, П. Е. |
| Опубликовано: | Л. , 1982 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19500210000 | ||
| 005 | 20070518142753.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070518d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка способов изготовления тонкопленочных резистивных элементов повышенной стабильности и точности в серийном производстве микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.13) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 13 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова-Ленина. Библиогр.: с. 13 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.3.049.77.002 |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Щуплинская $b П. Е. $g Полина Евгеньевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070518 $g psbo |