Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (Краткий обзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1968 г.)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ133169,
Вид документа: Книги
Автор: Щеглова, В. В.
Опубликовано: М. : ин-т "Электроника" , 1969
Физические характеристики: 50 с. : илл.
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике. Серия "Полупроводниковые приборы"
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr19435290000
005 20070517191104.0
010 # # $d 27 к. 
100 # # $a 20070517d1969 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов  $e (Краткий обзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1968 г.) 
210 # # $a М.  $c ин-т "Электроника"  $d 1969 
215 # # $a 50 с.  $c илл. 
225 2 # $a Обзоры по электронной технике. Серия "Полупроводниковые приборы"  $f М-во электронной пром-сти СССР 
300 # # $a Библиогр.: с. 41-49. На обл. авт. не указан 
345 # # $9 1200 экз. 
675 # # $a 621.382-416+[016.3] 
700 # 1 $a Щеглова  $b В. В.  $g Валентина Викторовна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070517  $g psbo