
Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (Краткий обзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1968 г.)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Щеглова, В. В. |
Опубликовано: | М. : ин-т "Электроника" , 1969 |
Физические характеристики: |
50 с. : илл.
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике. Серия "Полупроводниковые приборы"
|
00000nam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr19435290000 | ||
005 | 20070517191104.0 | ||
010 | # | # | $d 27 к. |
100 | # | # | $a 20070517d1969 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов $e (Краткий обзор по материалам отечеств. и зарубежной печати за 1968 г.) |
210 | # | # | $a М. $c ин-т "Электроника" $d 1969 |
215 | # | # | $a 50 с. $c илл. |
225 | 2 | # | $a Обзоры по электронной технике. Серия "Полупроводниковые приборы" $f М-во электронной пром-сти СССР |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 41-49. На обл. авт. не указан |
345 | # | # | $9 1200 экз. |
675 | # | # | $a 621.382-416+[016.3] |
700 | # | 1 | $a Щеглова $b В. В. $g Валентина Викторовна |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070517 $g psbo |