
Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электр. техники
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Шелепин, Н. А. |
Publié: | М. , 1991 |
Description matérielle: |
32 с.
|
Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|