Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электр. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шелепин, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18968680000 | ||
| 005 | 20070511161716.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070511d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Моск. ин-т электр. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 32 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 32 (17 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шелепин $b Н. А. $g Николай Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070511 $g psbo |