Получение и исследование электретов для технологической оснастки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шек, С. М. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18960230000 | ||
| 005 | 20070511161551.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070511d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Получение и исследование электретов для технологической оснастки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 22-23 (6 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шек $b С. М. $g Сергей Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070511 $g psbo |