|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr18868000000 |
005 |
20070511153252.0 |
010 |
# |
# |
$d 5 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [83-7158]
|
100 |
# |
# |
$a 20070511d1982 y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a UA
|
200 |
1 |
# |
$a Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией
|
210 |
# |
# |
$a Киев
$c о-во «Знание» УССР
$d 1982
|
215 |
# |
# |
$a 19 с.
$c ил.
$d 20 см
|
225 |
2 |
# |
$a В помощь лектору и специалисту. Наука, техника, передовой произв. опыт
$f О-во «Знание» УССР
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 19 (11 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 510 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
|
610 |
0 |
# |
$a МДП-структуры
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002
|
700 |
# |
1 |
$a Шваенко
$b М. А.
$g Михаил Александрович
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070511
$g psbo
|