Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией

Сохранено в:
Шифр документа: АУ633003, М221234,
Вид документа: Книги
Автор: Шваенко, М. А.
Опубликовано: Киев : о-во «Знание» УССР , 1982
Физические характеристики: 19 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: В помощь лектору и специалисту. Наука, техника, передовой произв. опыт
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr18868000000
005 20070511153252.0
010 # # $d 5 к. 
021 # # $a RU  $b [83-7158] 
100 # # $a 20070511d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией 
210 # # $a Киев  $c о-во «Знание» УССР  $d 1982 
215 # # $a 19 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a В помощь лектору и специалисту. Наука, техника, передовой произв. опыт  $f О-во «Знание» УССР 
300 # # $a Библиогр.: с. 19 (11 назв.) 
345 # # $9 510 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство 
610 0 # $a МДП-структуры 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002 
700 # 1 $a Шваенко  $b М. А.  $g Михаил Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070511  $g psbo