|
|
|
|
|
00000cam2a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr18861290002 |
005 |
20160224090937.0 |
010 |
# |
# |
$d 12 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-98424]
|
100 |
# |
# |
$a 20070511d1985 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
200 |
0 |
# |
$a Ч. 2
|
210 |
# |
# |
$d 1985
|
215 |
# |
# |
$a 43 с.
$c ил.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 41 (6 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr18861290000
$1 2000
$v Ч. 2
|
610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство - Физико-химические основы
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:541.1(075.9)
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070511
$g psbo
|
830 |
# |
# |
$a 93453;
|