Физико-химические принципы технологии микроэлектронных изделий для средств связи : Учеб. пособие. Ч. 2

Сохранено в:
Шифр документа: 93453,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1985
Физические характеристики: 43 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr18861290002
005 20160224090937.0
010 # # $d 12 к. 
021 # # $a RU  $b [85-98424] 
100 # # $a 20070511d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
200 0 # $a Ч. 2 
210 # # $d 1985 
215 # # $a 43 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 41 (6 назв.) 
345 # # $9 300 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr18861290000  $1 2000   $v Ч. 2 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование - Физико-химические основы 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство - Физико-химические основы 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002:541.1(075.9) 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070511  $g psbo 
830 # # $a 93453;