|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr18766200000 |
| 005 |
20130404154316.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-46216]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070511d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Контроль технологических процессов в производстве интегральных схем
$e Учеб. пособие
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 48 с.
$c черт.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 47 (15 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Контроль
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.562.(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2872369
$a Шаповалов
$b В. И.
$g Виктор Иванович
$c доктор технических наук, электронная техника
$f род. 1944
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070511
$g psbo
|
