|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr18766190000 |
| 005 |
20170227110643.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070511d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Контроль технологических процессов в микроэлектронике
$e Учеб. пособие
$f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1985-
|
| 215 |
# |
# |
$a 44 с.
$c рис.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 42-43 (9 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Контроль
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2872369
$a Шаповалов
$b В. И.
$g Виктор Иванович
$c доктор технических наук, электронная техника
$f род. 1944
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070511
$g psbo
|
