Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шапкарина, Г. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18760250000 | ||
| 005 | 20070511145921.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070511d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.07) $f Моск. ин-т стали и сплавов |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шапкарина $b Г. Г. $g Галина Григорьевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070511 $g psbo |