|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr18550300000 |
| 005 |
20070507201343.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 27 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-50170]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070507d1980 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разделение монокристаллических пластин на заготовки ИС
$e (Учеб. пособие)
$f Ю. Д. Чистяков, Э. А. Фаттахов, В. А. Колеров
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 110 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 107-108
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Чистяков
$b Ю. Д.
$g Юрий Дмитриевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Фаттахов
$b Э. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Колеров
$b В. А.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070507
$g psbo
|
