Разработка промышленной установки электронной проекционной литографии производства изделий электронной техники с субмикронными размерами элементов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Чиненов, А. А. |
| Wydane: | М. , 1985 |
| Opis fizyczny: |
23 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||