|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr18507070000 |
005 |
20170810143514.0 |
010 |
# |
# |
$d 14 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-94324]
|
100 |
# |
# |
$a 20070507d1986 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Технологические процессы изготовления микросхем
$e Учеб. пособие
$f Дальневост. политехн. ин-т им. В. В. Куйбышева
|
210 |
# |
# |
$a Владивосток
$d 1986
|
215 |
# |
# |
$a 79 с.
$c рис.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 78-79 (16 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
700 |
# |
1 |
$a Чижевич
$b Л. А.
$g Людмила Анатольевна
|
701 |
# |
1 |
$a Гамаюнов
$b Е. Л.
$g Евгений Леонидович
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070507
$g psbo
|