Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черняев, А. В. |
| Опубликовано: | Москва : Радио и связь , 1990 |
| Физические характеристики: |
85, [2] с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||