|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr18445190000 |
| 005 |
20200907114819.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-256-00740-8
$d 1 р.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-18419]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070504d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Радио и связь
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 85, [2] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 83-86 (66 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Галлий, арсенид - Легирование ионное
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7
|
| 700 |
# |
1 |
$a Черняев
$b А. В.
$g Александр Владимирович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070504
$g psbo
|
