Исследование и разработка методов и средств измерений параметров прецизионных микроэлектронных изделий: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.05) / Пенз. политехн. ин-т
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Чернышев, Н. И. |
| Published: | Пенза , 1990 |
| Physical Description: |
19 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||