Исследование и разработка физико-технологических процессов и методов повышения качества фотошаблонов и их контроля: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черепков, А. И. |
| Опубликовано: | Киев , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18346060000 | ||
| 005 | 20070507161210.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070507d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка физико-технологических процессов и методов повышения качества фотошаблонов и их контроля $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Черепков $b А. И. $g Алексей Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070507 $g psbo |