Исследование тонких слоев методом массспектрометрии вторичных ионов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ченакин, С. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1860 |
| Физические характеристики: |
57 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
ИМФ 80.16 |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18308740000 | ||
| 005 | 20070503162527.0 | ||
| 010 | # | # | $d 23 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [80-27757] |
| 100 | # | # | $a 20070503d1860 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование тонких слоев методом массспектрометрии вторичных ионов |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1860 |
| 215 | # | # | $a 57 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт $f АН УССР. Ин-т металлофизики $v ИМФ 80.16 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 51-56 (116 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Тонкие пленки |
| 675 | # | # | $a 539.216:543.51 |
| 700 | # | 1 | $a Ченакин $b С. П. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070503 $g psbo |