Влияние высокого гидростатического давления на свойства и структуру МДП-элементов кремниевых интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Науч.-произв. об-ние "Фонон"

Сохранено в:
Шифр документа: 58374/88СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Цыпкин, Г. А.
Опубликовано: М. , 1988
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr18199460000
005 20070503140235.0
100 # # $a 20070503d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Влияние высокого гидростатического давления на свойства и структуру МДП-элементов кремниевых интегральных схем  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.01)  $f Науч.-произв. об-ние "Фонон" 
210 # # $a М.  $d 1988 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-20 (31 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Цыпкин  $b Г. А.  $g Григорий Альбертович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070503  $g psbo