Свойства аморфных пленок нитрида кремния
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Ху, С. |
| Published: | М. : Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1966 |
| Physical Description: |
26 с. : илл.
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Переводы иностранной лит. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 53/ЭТ-1313 |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||