Свойства аморфных пленок нитрида кремния
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Ху, С. |
| Veröffentlicht: | М. : Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1966 |
| Beschreibung: |
26 с. : илл.
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Переводы иностранной лит. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 53/ЭТ-1313 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||