|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17980430000 |
| 005 |
20070502154734.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 8 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [69-92393]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070502d1969 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проблемы загрязнения в полупроводниковой промышленности
$e [Пер. с англ.]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c ин-т «Электроника»
$d 1969
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c черт.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Переводы иностр. литературы. Серия «Технология. Организация производства»
$f М-во электронной пром-сти СССР
$v Перевод № 7 (76) ЭТ-4373
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. авт. не указан
|
| 300 |
# |
# |
$a Статья из «Environmental engineering», 1968, XI, № 35
|
| 345 |
# |
# |
$9 880 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Санитария и гигиена
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002:628.5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Хоуп
$b Д.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070502
$g psbo
|
