Исследование влияния ионного легирования на параметры системы двуокись кремния-кремний: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ364263,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Холомина, Т. А.
Опубликовано: Воронеж , 1979
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr17940880000
005 20070502154340.0
100 # # $a 20070502d1979 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование влияния ионного легирования на параметры системы двуокись кремния-кремний  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10) 
210 # # $a Воронеж  $d 1979 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a В надзаг.: Воронеж. политехн. ин-т. Биолиогр.: с. 17-19 (17 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Холомина  $b Т. А.  $g Татьяна Андреевна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070502  $g psbo