Исследование переноса и распределения примесей в эпитаксиальных слоях кремния методом нейтронно-активационного анализа: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ходжахмедов, Э. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1973 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17914610000 | ||
| 005 | 20070502153101.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-22650а] |
| 100 | # | # | $a 20070502d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Исследование переноса и распределения примесей в эпитаксиальных слоях кремния методом нейтронно-активационного анализа $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-мат. наук |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 22-23 (7 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ходжахмедов $b Э. $g Эрмат |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070502 $g psbo |